2025-12-10半導(dǎo)體外延爐會(huì)不會(huì)銹蝕?
在正常使用和維護(hù)的情況下,半導(dǎo)體外延爐通常不會(huì)生銹,但其是否會(huì)生銹取決于材料的選擇、使用的環(huán)境以及維護(hù)的措施。具體分析如下:1.外延爐的主要材料及防銹設(shè)計(jì)主體結(jié)構(gòu):外延爐通常由不銹鋼(如304、316L)或高純度合金(如石英、陶瓷)制成。這些材料具備優(yōu)良的耐腐蝕性能,能夠在高溫、真空或惰性氣體環(huán)境中
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