半導(dǎo)體外延爐里的園盤主要運(yùn)用于固定不動和支撐單晶硅片，保證在超高壓高溫環(huán)境下進(jìn)行外延生長時單晶硅片的穩(wěn)定性和均勻度。從總體上，園盤在半導(dǎo)體外延爐中的重要性包含：
固定不動和支撐單晶硅片：園盤根據(jù)設(shè)計保證單晶硅片在超高壓高溫條件下長期保持，避免單晶硅片在生長過程中移動或變型，進(jìn)而影響外延層的均勻度和品質(zhì)。
勻稱加溫：外延性爐里的園盤一般由獨(dú)特材料制作，可以聯(lián)合分布發(fā)熱量，保證單晶硅片各部件遭受同樣的環(huán)境溫度，充分保證外延層的勻稱生長發(fā)育。
提高工作效率和品質(zhì)：根據(jù)控制園盤設(shè)計和材料種類，能提高外延生長的均一性和一致性，從而提升半導(dǎo)體元器件的性能和穩(wěn)定性。
適應(yīng)不同加工工藝要求：半導(dǎo)體外延爐里的園盤設(shè)計可以根據(jù)具體的加工工藝要求作出調(diào)整，比如底座的旋轉(zhuǎn)和噴嘴的布局，以優(yōu)化的生長過程和產(chǎn)品質(zhì)量。