2025-03-10半導(dǎo)體外延爐主要用途
主要用途：半導(dǎo)體外延爐主要用于化合物半導(dǎo)體器件制造過程中外延膜的液相外延生長，是光電子器件研制、生產(chǎn)中的關(guān)鍵工藝裝備。技術(shù)特點(diǎn)： 自動化程度高，除裝片、取片外，整個工藝過程均由工業(yè)計算機(jī)控制自動完成。工藝操作可由機(jī)械手完成。 機(jī)
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